In einem RBS-Spektrum (Rutherford Backscattering Spectrometry) kann man verschiedene Informationen ablesen, darunter: 1. **Elementare Zusammensetzung**: Die Intensität der zurückgestreuten Partikel gibt Aufschluss über die Menge der verschiedenen Elemente in der Probe. 2. **Schichtdicken**: Durch die Analyse der Rückstreuung kann man die Dicke von dünnen Schichten bestimmen, die auf einem Substrat aufgebracht sind. 3. **Profil der Elementverteilung**: Man kann die Verteilung der Elemente in der Tiefe der Probe untersuchen, was wichtig für die Charakterisierung von Materialien ist. 4. **Kristallstruktur**: In einigen Fällen kann auch die Kristallstruktur oder der Zustand des Materials aus den Rückstreudaten abgeleitet werden. 5. **Verunreinigungen**: RBS kann helfen, Verunreinigungen oder unerwünschte Elemente in Materialien zu identifizieren. Diese Informationen sind besonders nützlich in der Materialwissenschaft, Halbleitertechnik und Oberflächenanalytik.