MEMS steht für "Micro-Electro-Mechanical Systems" und bezeichnet eine Technologie, die mechanische und elektronische Komponenten auf mikroskopischer Ebene kombiniert. Diese Systeme bestehen aus winzigen beweglichen Teilen, Sensoren, Aktuatoren und elektronischen Schaltungen, die auf einem einzigen Chip integriert sind. MEMS werden in einer Vielzahl von Anwendungen eingesetzt, darunter: 1. **Sensoren**: MEMS-Sensoren können physikalische Größen wie Druck, Beschleunigung, Temperatur und Feuchtigkeit messen. Beispiele sind Beschleunigungssensoren in Smartphones oder Drucksensoren in Automobilen. 2. **Aktuatoren**: Diese Komponenten können mechanische Bewegungen erzeugen, wie z.B. in Mikrospiegeln für Projektoren oder in Tintenstrahldruckern. 3. **Kommunikation**: MEMS-Technologien finden auch Anwendung in der Telekommunikation, z.B. in optischen Schaltern. Die Vorteile von MEMS umfassen ihre geringe Größe, das geringe Gewicht, die hohe Präzision und die Möglichkeit, sie in großen Stückzahlen kostengünstig herzustellen. Sie spielen eine entscheidende Rolle in der Miniaturisierung von Geräten und der Entwicklung intelligenter Systeme.