Eine Hochvakuumpumpe ist ein Gerät, das verwendet wird, um in einem geschlossenen System einen sehr niedrigen Druck zu erzeugen, typischerweise im Bereich von 10^-3 bis 10^-9 mbar. Diese Pumpen sind entscheidend in vielen Anwendungen, wie in der Halbleiterfertigung, der Materialforschung und der Vakuumtechnik. Es gibt verschiedene Typen von Hochvakuumpumpen, darunter: 1. **Turbomolekularpumpen**: Diese Pumpen nutzen rotierende Schaufeln, um Gasmoleküle zu beschleunigen und in den Auslass zu transportieren. 2.Diffusionspumpen**: Sie verwenden einen Dampfstrahl, um Moleküle aus dem Vakuumraum zu ziehen. 3. **Ionenpumpen**: Diese Pumpen ionisieren Gasmoleküle und fangen sie an einer Elektrode ein. 4. **Scrollpumpen**: Diese arbeiten mit zwei spiralförmigen Elementen, die das Gas komprimieren und abführen. Hochvakuumpumpen sind wichtig für die Erzeugung und Aufrechterhaltung von Vakuumzuständen in verschiedenen wissenschaftlichen und industriellen Anwendungen.