Die Terahertz-Schichtdickenmessung kann an metallischen Proben problematisch sein, weil Metalle im Terahertz-Bereich stark reflektieren und absorbieren. Diese Eigenschaften führen dazu, dass die Terahertz-Wellen nicht in die Probe eindringen können, was eine genaue Messung der Schichtdicke unmöglich macht. Bei nichtmetallischen Materialien hingegen können die Terahertz-Wellen in die Probe eindringen und die Schichtdicke durch die Analyse der reflektierten und durchgelassenen Signale bestimmt werden.